Kompetenzfelder
 
 
Informationstechnik
 

 
Prozessüberwachung
 

Neue Anwendungen der OFW-Bauelemente erfordern die Einhaltung immer engerer Toleranzen. Deshalb wird in Zukunft die ständige Überwachung der Schichtqualität während der Bauelementfertigung notwendig werden. Hierzu müssen geeignete Verfahren und Geräte entwickelt werden.

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