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Universität Ulm
 


Die apparative Ausstattung der Universtät Ulm, die WMtech für seine Arbeit zur Verfügung steht, soll durch weitere Investitionen seitens des Landes Baden-Württemberg ergänzt werden.

In der Arbeitsgruppe Abt. Werkstoffe der Elektrotechnik / Materialwissenschaften WET des Projektkoordinators Prof. Dr. Hans-Jörg Fecht (Leibniz-Preisträger 1998) bestehen langjährige Erfahrungen auf dem Gebiet der Werkstofftechnik allgemein und auf dem Gebiet der mikrotechnischen Werkstoffe insbesondere. Die Aktivitäten der Abteilung umfassen Entwicklungen von neuartigen Hochleistungswerkstoffen für die Verwendung in der Sensorik, Mikrosystemtechnik und Halbleitertechnik. Mit diesen Werkstoffen werden Mikrosystem-Komponenten und Mikrosysteme bei extremen Umgebungs- und Betriebsbedingungen einsetzbar. Die Charakterisierung und Optimierung der mikrostrukturellen, elektrischen, chemischen, mechanischen und tribologischen Eigenschaften von Funktionswerkstoffen und Schichtstrukturen sind weitere Schwerpunkte.

Die Abteilung Elektronische Bauelemente und Schaltungen EBS (Prof. Dr. E. Kohn) beschäftigt sich mit der Herstellung von MEMS-Komponenten auf der Basis von CVD-Diamant auf Silizium und mit der Technologie elektronischer Heterostruktur-Bauelemente auf III-V Halbleitern wie GaAs, InP und GaN. Die MEMS-Technologie umfasst alle wesentlichen Prozeßschritte der Mikrosystemtechnik und ist im wesentlichen für Si als Substratmaterial ausgelegt. Spezielle MEMS-Strukturen (Membranstrukturen) für MMICs wurden jedoch auch auf InP realisiert.
Realisierte MST-Komponenten sind:

Die Abteilung Optoelektronik OE (Leibnizpreisträger Prof. Dr. K. Ebeling / Prof. Dr. P. Unger) hat eine langjährige Forschungserfahrung bei der epitaktischen Herstellung und Charakterisierung von funktionellen Schichten. Im Rahmen mehrerer vom BMBF und der DFG geförderter Drittmittelprojekte wurden Leuchtdioden und Laserdioden erfolgreich demonstriert. Dabei stehen materialtechnologische Aspekte im Vordergrund der Forschungsaktivitäten.
In den Ulmer Laboratorien werden die Halbleiterschichten sowohl mittels metallorganischer Gasphasenepitaxie (MOCVD) als auch mittels Molekularstrahlepitaxie auf die Substratmaterialien Saphir, Siliziumkarbid und Galliumnitrid (GaN) aufgewachsen.

Die Abteilung Biomaterialien (Prof. Dr. Dr. H. Franke) im Zentralinstitut für Biomediznische Technik ZBT ist Mitglied im Ulmer Kompetenzzentrum "Biomaterialien im Kontakt zu Knochen". Die Abteilung untersucht u.a. die Prozesse, die zur aseptischen Lockerung implantierter Hüftgelenkprothesen bzw. Osteosyntheseplatten/-Schrauben führen. Die Untersuchungen werden unter Einsatz aller analytischen Verfahren an Implantatmaterialien in vitro und in vivo, sowie an Explantaten aus Patienten durchgeführt. Insgesamt liegen Kompetenzen im Bereich der Medizintechnik der minimal invasiven Chirurgie (Instrumente der endoskopischen Chirurgie), der Mikrochirurgie (Skalpelle), der invasiven Untersuchungen (Katheder, Endoskope, Mikrosystemtechnik z.B. Mikrostecker Verbindungen) und der Implantate im menschlichen Körper (Stents, Mikroimplantate) vor. Besonderer Fokus liegt auf der Entwicklung neuer Werkstoffe und deren Oberflächenbeschaffenheit im Mikro- und Submikrometerbereich im Hinblick auf Hämo- und Biokompatibilität.

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